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Wafer测试、衬底/晶圆测试、内涵测试办事

ACS具有海内良好的半导体科研团队、进步的半导体测试设备,为您供给切确、美满的办事

 

仪器设备

测试项目

测试办法

高分辨XRD测试系统

内涵层厚度、组分含量

ω/2θ扫描、扭捏曲线扫描、In-plane扫描、

倒格矢扫描

PL测试

量子阱发光波长

曲线

PL Maping

 

PL测试

方阻仪

内涵层方块电阻及其平均性

方块电阻

台阶仪

内涵层的厚度

二维台阶高度扫描

霍尔测试设备(自建设备)

室温和77K下内涵层的载流子浓度和迁徙率

霍尔测试

SurfaceScan颗粒度检测

内涵层名义颗粒度

 

Candela颗粒度检测

内涵层名义颗粒度

 


专业出产:砷化镓GaAs内涵片 磷化铟InP内涵片

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